作為第一家國產(chǎn)機(jī)器人實(shí)現(xiàn)出口的企業(yè)，機(jī)器人(300024.SZ)一直在工業(yè)自動化、數(shù)字化上承擔(dān)著引領(lǐng)國產(chǎn)自動化設(shè)備及系統(tǒng)創(chuàng)新的角色。

8月19日，機(jī)器人公布擬募資18.03億元主要用于建設(shè)半導(dǎo)體領(lǐng)域半導(dǎo)體設(shè)備及自動化項(xiàng)目，作為國內(nèi)唯一一家真空機(jī)械手的供應(yīng)商，去年機(jī)器人真空機(jī)械手已批量應(yīng)用于北方華創(chuàng)、中科院微電子研究所等企業(yè)和機(jī)構(gòu)，有望在國內(nèi)全面推廣。

機(jī)器人2009年上市，通過融資不斷擴(kuò)大工業(yè)機(jī)器人、特種機(jī)器人、高端裝備、數(shù)字化工廠等領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)規(guī)模，此次募資將以自身自動化設(shè)備優(yōu)勢來實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體國產(chǎn)化的替代。

擬募資18億新建半導(dǎo)體設(shè)備

機(jī)器人此次擬向特定對象發(fā)行股票的募集資金總額不超過18.03億元用于IC真空機(jī)械手及集束型設(shè)備項(xiàng)目、半導(dǎo)體自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)項(xiàng)目、半導(dǎo)體物料管理控制系統(tǒng)項(xiàng)目以及補(bǔ)充流動資金。

此前機(jī)器人已研制了系列化潔凈真空機(jī)器人產(chǎn)品，包括大氣機(jī)械手系列產(chǎn)品(潔凈度達(dá)到 Class1)、集成電路裝備真空機(jī)械手系列產(chǎn)品(真空度達(dá)到最高 1×10-6 Pa)。真空直驅(qū)機(jī)器人打破國外壟斷，可以實(shí)現(xiàn)直接替代；自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)系統(tǒng)設(shè)備主要包括潔凈存儲系統(tǒng)(Stocker)、 潔凈軌道系統(tǒng)、空中無人搬運(yùn)車(OHT)等，公示可以為半導(dǎo)體工廠提供整套自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)；而公司承接的廣州超視堺Mask搬送系統(tǒng)項(xiàng)目，其中也包含ACS系統(tǒng)(類似MCS的系統(tǒng)，規(guī)模要比MCS系統(tǒng)規(guī)模小)的子訂單，具有先天優(yōu)勢。

上述三個項(xiàng)目建成后，年預(yù)計(jì)可實(shí)現(xiàn)年均營業(yè)收入約10.05億元、11.90億元、1.8億元，合計(jì)達(dá)到23.75億元。而去年公司全年?duì)I收27.45億元，此次擴(kuò)產(chǎn)項(xiàng)目若達(dá)成目標(biāo)將增加營收85%。

機(jī)器人將半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)確定為三大業(yè)務(wù)板塊之一，2018年5月，公司集中整合資源成立半導(dǎo)體裝備事業(yè)部，完善在集成電路設(shè)備自動化與自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)產(chǎn)業(yè)的布局，潔凈真空機(jī)器人、潔凈自動化裝備、自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)是公司自主研發(fā)的面向集成電路行業(yè)高端的成套裝備，半導(dǎo)體物料管理控制系統(tǒng)(MCS)產(chǎn)業(yè)化是公司拓展的新業(yè)務(wù)。

目前機(jī)器人研發(fā)的真空機(jī)械手已批量應(yīng)用于北方華創(chuàng)、中科院微電子研究所等企業(yè)。集束型設(shè)備行業(yè)應(yīng)用涵蓋半導(dǎo)體 CMP 清洗設(shè)備、半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備、半導(dǎo)體涂膠設(shè)備等，且實(shí)現(xiàn)小批量示范應(yīng)用；半導(dǎo)體自動搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)在上海集成電路研發(fā)中心生產(chǎn)線上的應(yīng)用，并成功應(yīng)用于Sandisk、賽意法等半導(dǎo)體芯片加工廠，面向面板制造廠開發(fā)的掩模版自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)，已經(jīng)在華星光電T1、T7工廠及夏普廣州廠實(shí)現(xiàn)成熟應(yīng)用。

2012年以來，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備需求迅猛增長，中國是全球第二大半導(dǎo)體設(shè)備市場，2018年達(dá)到131.10億美元，但國產(chǎn)設(shè)備自給率很低，僅為13%左右。未來即便核心半導(dǎo)體設(shè)備依然依靠進(jìn)口，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化空間仍然巨大。并且半導(dǎo)體工廠自動化對工廠的稼動率非常重要，全球該市場的年采購額在20億美金左右，由于國外對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的封鎖，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對于自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)需求迫切。

而機(jī)器人是國內(nèi)唯一一家真空機(jī)械手的供應(yīng)商，而公司自主研發(fā)的面向半導(dǎo)體行業(yè)的高端裝備自動物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)已經(jīng)形成了獨(dú)立產(chǎn)品線，可以逐步實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代。

大力研發(fā)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體領(lǐng)域多項(xiàng)突破

機(jī)器人從事的主要業(yè)務(wù)為機(jī)器人及數(shù)字化工廠解決方案，主營業(yè)務(wù)包括機(jī)器人業(yè)務(wù)、數(shù)字化工廠業(yè)務(wù)、工業(yè)軟件與控制平臺、半導(dǎo)體裝備業(yè)務(wù)。

近年來機(jī)器人連續(xù)承擔(dān)國家863重點(diǎn)項(xiàng)目、十二五智能制造發(fā)展專項(xiàng)項(xiàng)目、十二五國家科技支撐計(jì)劃課題、十三五國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、科技部02專項(xiàng)項(xiàng)目、工信部研發(fā)項(xiàng)目、發(fā)改委研發(fā)項(xiàng)目等。

僅去年機(jī)器人研發(fā)投入4.58億元，同比增長134.91%，占到了營收16.67%，截至2019年底，公司合計(jì)擁有109項(xiàng)軟件著作權(quán)和有效專利377項(xiàng)，其中發(fā)明專利193件，實(shí)用新型專利103件。

去年機(jī)器人在半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了多項(xiàng)突破。去年真空機(jī)械手產(chǎn)品需求增加，公司潔凈機(jī)器人系列產(chǎn)品持續(xù)批量銷售，搶占國內(nèi)市場的主要份額，公司EFEM部分型號產(chǎn)品已獲得批量訂單，標(biāo)志公司在高端半導(dǎo)體刻蝕機(jī)及其工藝技術(shù)領(lǐng)域開始實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化批量供應(yīng)。公司8寸和12寸真空平臺已經(jīng)交付客戶進(jìn)行驗(yàn)證；憑借自主研制的國內(nèi)首套柔性O(shè)LED潔凈機(jī)器人成功進(jìn)入高端柔性屏幕生產(chǎn)線，且于年底前完成首臺交付。

去年機(jī)器人物流與倉儲自動化成套裝備、工業(yè)機(jī)器人營收分別為10.60億元、9.72億元，分別同比增長9.28%、3.92%，不過由于自動化裝配與檢測生產(chǎn)線及系統(tǒng)集成有所下滑，公司營收下降了11.29%。

根據(jù)中投產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2020-2024 年中國機(jī)器人產(chǎn)業(yè)投資分析及前景預(yù)測報(bào)告》顯示，2019年度全國工業(yè)機(jī)器人累計(jì)產(chǎn)量為18.69萬套，同比降低了6.1%。而2019年上半年自主品牌工業(yè)機(jī)器人累計(jì)銷售1.9萬臺，同比下降13.6%。

機(jī)器人作為目前國內(nèi)唯一批量生產(chǎn)潔凈機(jī)器人及自動化設(shè)備的供應(yīng)商，在國內(nèi)半導(dǎo)體自動化領(lǐng)域有研發(fā)優(yōu)勢，在目前半導(dǎo)體國產(chǎn)化進(jìn)程中，公司產(chǎn)品或有望在國內(nèi)全面推廣。