近日，中科富海旗下控股子公司安徽中科昊海氣體科技有限公司投資建設(shè)的氪氙精制裝置一次開(kāi)車成功，產(chǎn)出的氪氣、氙氣純度99.9999%以上，均高于國(guó)標(biāo)高純氪氙標(biāo)準(zhǔn)。

安徽中科昊海氣體科技有限公司成立于2019年1月，位于安徽省阜陽(yáng)市潁東區(qū)，主要投資建設(shè)高純特種電子氣體項(xiàng)目和高端綠色氫能項(xiàng)目。其中高純特種電子氣體項(xiàng)目首期工程建設(shè)一套20Nm3/h氖氦精制裝置和一套400Nm3/h氪氙精制裝置。其中，氖氦精制裝置于2020年底完成安裝，3月調(diào)試一次開(kāi)車成功，氦氖產(chǎn)品純度99.9999%；氪氙精制裝置于2021年初完成安裝，日前一次調(diào)試成功，產(chǎn)出氪氙產(chǎn)品純度99.9999%。至此，中科富海氖氦氪氙精制裝置已全部實(shí)現(xiàn)成功投產(chǎn)，助力半導(dǎo)體等高精尖產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

中科富海首次采用自主研發(fā)、獨(dú)立設(shè)計(jì)、成功集成氦氖氪氙精制裝置。該裝置采用整體撬裝式結(jié)構(gòu)，所有組件在工廠內(nèi)一次整體安裝完畢，并經(jīng)嚴(yán)格檢漏后出廠，大大減少現(xiàn)場(chǎng)施工量，有效保證產(chǎn)品制造質(zhì)量。

氦氖氪氙裝置的成功投產(chǎn)，成為中科富海在稀有氣體領(lǐng)域的重大突破與重要里程碑，將滿足我國(guó)航天、醫(yī)學(xué)、電子、暗物質(zhì)研究等領(lǐng)域應(yīng)用發(fā)展需求。（氣體分離）

來(lái)源：CGMA